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반도체 공정 관련 서적 추천해주세요~

LOST92013.07.31 18:31조회 수 3344댓글 2

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재료공학부 지난학기에는 반도체 수업에서 Introduction to Semiconductor Manufacturing Technology를 사용했더군요.

(제가 같은 학과가 아니여서 저 책을 잘 모릅니다.)

혹시 저 책을 사용해보신분 계신가요? 책이 좋은 책인지 몰라서 일단 여쭙니다.


그리고 반도체 공정관련된 다른 서적을 추천해 주셨으면 해요~~~

그냥 교양용이 아닌 공정을 배우기 위한 도서를 원합니다.

가급적이면 번역본 있는게 좋겠지만 좋은 책이라면 원서도 괜찮습니다.


그럼 부탁드려요!! 

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