반도체 공정 관련 서적 추천해주세요~

재료공학부 지난학기에는 반도체 수업에서 Introduction to Semiconductor Manufacturing Technology를 사용했더군요.

(제가 같은 학과가 아니여서 저 책을 잘 모릅니다.)

혹시 저 책을 사용해보신분 계신가요? 책이 좋은 책인지 몰라서 일단 여쭙니다.

그리고 반도체 공정관련된 다른 서적을 추천해 주셨으면 해요~~~

그냥 교양용이 아닌 공정을 배우기 위한 도서를 원합니다.

가급적이면 번역본 있는게 좋겠지만 좋은 책이라면 원서도 괜찮습니다.

그럼 부탁드려요!!